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高純度ガス|Pure Gases

01 O2 酸素
製品規格
Specifications
容器
Cylinder
充填量
Content
容器弁
Valve
化学式 純度(Purity) 47.0 l 14.7MPa JIS.W22-14R
Chemical >99.99995 vol.% >99.999 vol.% >99.9 vol.% 10.0 l
Formula 不純物(Impurity) 3.4 l
窒素
N2
<0.20 vol.% <2.0 vol.ppm <900 vol.ppm
物性データ (Physical Properties)
・分子量 (Molecular Weight) 32.00
・許容濃度 (Permissible Concentration)
・蒸気圧 (Vapor Pressure)
・沸 点 (Boiling Point) -183.0℃
・臭 気 (Odor)
・爆発下限界 (Low Explosion Limit)
アルゴン
Ar
<0.05 vol.ppm <5.0 vol.ppm <900 vol.ppm
全炭化水素
THC
<0.02 vol.ppm <0.5 vol.ppm <900 vol.ppm
一酸化炭素
CO
<0.02 vol.ppm <0.5 vol.ppm
二酸化炭素
(炭酸ガス)
CO2
<0.02 vol.ppm <0.5 vol.ppm
亜酸化窒素
N2O
<1.0 vol.ppm

H2O
<-80 <-80 <-70

02 N2 窒素
製品規格
Specifications
容器
Cylinder
充填量
Content
容器弁
Valve
化学式 純度(Purity) 47.0 l 14.7MPa JIS.W22-14R
Chemical >99.99995 vol.% >99.9998 vol.% >99.9995 vol.% 10.0 l
Formula 不純物(Impurity) 3.4 l
酸素
O2
<0.10 vol.% <0.3 vol.ppm <0.5 vol.ppm
物性データ (Physical Properties)
・分子量 (Molecular Weight) 28.01
・許容濃度 (Permissible Concentration)
  単純窒息性 (Suffocating)
・蒸気圧 (Vapor Pressure)
・沸 点 (Boiling Point) -195.8℃
・臭 気 (Odor)
・爆発下限界 (Low Explosion Limit)

一酸化炭素
CO
<0.10 vol.ppm <0.3 vol.ppm <1.0 vol.ppm
二酸化炭素
(炭酸ガス)
CO2
<0.10 vol.ppm <0.3 vol.ppm <1.0 vol.ppm
全炭化水素
THC
<0.05 vol.ppm <0.1 vol.ppm <1.0 vol.ppm
窒素酸化物
NOx
<0.01 vol.ppm <0.1 vol.ppm
亜硫酸ガス
(二酸化硫黄)
SO2
<0.01 vol.ppm <0.1 vol.ppm

H2O
<-80 <-80 <-70

03 Ar アルゴン
製品規格
Specifications
容器
Cylinder
充填量
Content
容器弁
Valve
化学式 純度(Purity) 47.0 l 14.7MPa JIS.W22-14R
Chemical >99.9999 vol.% >99.9995 vol.% >99.999 vol.% 10.0 l
Formula 不純物(Impurity) 3.4 l
窒素
N2
<0.3 vol.ppm <0.5 vol.ppm
物性データ (Physical Properties)
・分子量 (Molecular Weight) 39.95
・許容濃度 (Permissible Concentration)
  単純窒息性 (Suffocating)
・蒸気圧 (Vapor Pressure)
・沸 点 (Boiling Point) -185.8℃
・臭 気 (Odor)
・爆発下限界 (Low Explosion Limit)
酸素
O2
<0.1 vol.ppm <0.2 vol.ppm <0.2 vol.ppm
水素
H2
<0.1 vol.ppm <0.5 vol.ppm <1.0 vol.ppm
一酸化炭素
CO
<0.1 vol.ppm <0.2 vol.ppm
二酸化炭素
(炭酸ガス)
CO2
<0.1 vol.ppm <0.2 vol.ppm <1.0 vol.ppm
全炭化水素
THC
<0.1 vol.ppm <0.2 vol.ppm <1.0 vol.ppm

H2O
<-80 <-80 <-70

04 Air 圧縮空気
製品規格
Specifications
容器
Cylinder
充填量
Content
容器弁
Valve
化学式 純度(Purity) 47.0 l 14.7MPa JIS.W22-14R
Chemical 大気組成 大気組成 大気組成 10.0 l
Formula 不純物(Impurity) 3.4 l
一酸化炭素
CO
<0.10 vol.ppm <0.50 vol.ppm <1 vol.ppm
物性データ (Physical Properties)
・分子量 (Molecular Weight)
・許容濃度 (Permissible Concentration)
・蒸気圧 (Vapor Pressure)
・沸 点 (Boiling Point)
・臭 気 (Odor)
・爆発下限界 (Low Explosion Limit)
二酸化炭素
(炭酸ガス)
CO2
<0.10 vol.ppm <0.50 vol.ppm <1 vol.ppm
全炭化水素
THC
<0.10 vol.ppm <0.50 vol.ppm <1 vol.ppm
窒素酸化物
NOx
<0.01 vol.ppm <0.05 vol.ppm
亜硫酸ガス
(二酸化硫黄)
SO2
<0.01 vol.ppm <0.05 vol.ppm

H2O
<-80 <-80 <-70

05 H2 水素
製品規格
Specifications
容器
Cylinder
充填量
Content
容器弁
Valve
化学式 純度(Purity) 47.0 l 14.7MPa JIS.W22-14L
Chemical >99.99999 vol.% >99.999 vol.% 10.0 l
Formula 不純物(Impurity) 3.4 l
窒素
N2
<0.05 vol.ppm <5.0 vol.ppm
物性データ (Physical Properties)
・分子量 (Molecular Weight) 2.02
・許容濃度 (Permissible Concentration)
  単純窒息性 (Suffocating)
・蒸気圧 (Vapor Pressure)
・沸 点 (Boiling Point) -252.8℃
・臭 気 (Odor)
・爆発下限界 (Low Explosion Limit) 4%
酸素
O2
<0.02 vol.ppm <1.0 vol.ppm
一酸化炭素
CO
<0.01 vol.ppm <0.1 vol.ppm
二酸化炭素
(炭酸ガス)
CO2
<0.01 vol.ppm <0.1 vol.ppm
全炭化水素
THC
<0.01 vol.ppm <0.1 vol.ppm

H2O
<-80 <-70

06 He ヘリウム
製品規格
Specifications
容器
Cylinder
充填量
Content
容器弁
Valve
化学式 純度(Purity) 47.0 l 14.7MPa,11.8MPa JIS.W22-14L
Chemical >99.99995 vol.% >99.999 vol.% 10.0 l JIS.W22-14R
Formula 不純物(Impurity) 3.4 l
窒素
N2
<0.10 vol.ppm <5 vol.ppm
物性データ (Physical Properties)
・分子量 (Molecular Weight) 4.00
・許容濃度 (Permissible Concentration)
  単純窒息性 (Suffocating)
・蒸気圧 (Vapor Pressure)
・沸 点 (Boiling Point) -268.9℃
・臭 気 (Odor)
・爆発下限界 (Low Explosion Limit)
酸素
O2
<0.05 vol.ppm <1 vol.ppm
一酸化炭素
CO
<0.02 vol.ppm - 
二酸化炭素
(炭酸ガス)
CO2
<0.02 vol.ppm <1 vol.ppm
全炭化水素
THC
<0.01 vol.ppm <1 vol.ppm

H2O
<-80 <-70

07 CO2 二酸化炭素(炭酸ガス)
製品規格
Specifications
容器
Cylinder
充填量
Content
容器弁
Valve
化学式 純度(Purity) 47.0 l 25.0 kg JIS.W22-14R
Chemical >99.995 vol.% 10.0 l 5.0 kg
Formula 不純物(Impurity) 3.4 l 1.5 kg
窒素
N2
<25 vol.ppm
物性データ (Physical Properties)
・分子量 (Molecular Weight) 44.01
・許容濃度 (Permissible Concentration) 5000ppm
  単純窒息性 (Suffocating)
・蒸気圧 (Vapor Pressure) 3.546MPa
・沸 点 (Boiling Point) -78.5℃(昇華)
・臭 気 (Odor)
・爆発下限界 (Low Explosion Limit)
酸素
O2
<5 vol.ppm
メタン
CH4
<10 vol.ppm
エタン
C2H6
<1 vol.ppm
水素
H2
<5 vol.ppm

H2O
<-76

08 CO 一酸化炭素
製品規格
Specifications
容器
Cylinder
充填量
Content
容器弁
Valve
化学式 純度(Purity) 47.0l|48.0l 9.81MPa JIS.W22-14L
Chemical >99.95 vol.% 9.4l|10.0l
Formula 不純物(Impurity) 3.4l
窒素
N2
<150 vol.ppm
物性データ (Physical Properties)
・分子量 (Molecular Weight) 28.01
・許容濃度 (Permissible Concentration) 25ppm
・蒸気圧 (Vapor Pressure)
・沸 点 (Boiling Point) -191.5℃
・臭 気 (Odor)
・爆発下限界 (Low Explosion Limit) 12.5%
酸素
O2
<30 vol.ppm
二酸化炭素
(炭酸ガス)
CO2
<30 vol.ppm
水素
H2
<15 vol.ppm
メタン
CH4
<1 vol.ppm

H2O
<-70

09 CH4 メタン
製品規格
Specifications
容器
Cylinder
充填量
Content
容器弁
Valve
化学式 純度(Purity) 47.0 l 4.90 MPa JIS.W22-14L
Chemical >99.999 vol.% >99.9 vol.% 10.0 l 9.81 MPa
Formula 不純物(Impurity) 3.4 l
酸素
O2
<1 vol.ppm <50 vol.ppm
物性データ (Physical Properties)
・分子量 (Molecular Weight) 16.04
・許容濃度 (Permissible Concentration) 1000ppm
・蒸気圧 (Vapor Pressure)
・沸 点 (Boiling Point) -161.5℃
・臭 気 (Odor)
・爆発下限界 (Low Explosion Limit) 5%
窒素
N2
<5 vol.ppm <700 vol.ppm
一酸化炭素
CO
<1 vol.ppm - 
二酸化炭素
(炭酸ガス)
CO2
<1 vol.ppm <10 vol.ppm
エタン
C2H6
<1 vol.ppm <200 vol.ppm

H2O
<-70 <-65

10 Ne ネオン
製品規格
Specifications
容器
Cylinder
充填量
Content
容器弁
Valve
化学式 純度(Purity) 47.0 l 3500 l JIS.W22-14R
Chemical >99.999 vol.% 10.0 l 750 l
Formula 不純物(Impurity) 3.4 l 250 l
窒素
N2
<2.0 vol.ppm
物性データ (Physical Properties)
・分子量 (Molecular Weight) 20.18
・許容濃度 (Permissible Concentration)
  単純窒息性 (Suffocating)
・蒸気圧 (Vapor Pressure)
・沸 点 (Boiling Point) -245.9℃
・臭 気 (Odor)
・爆発下限界 (Low Explosion Limit)
酸素
O2
<1.0 vol.ppm
ヘリウム
He
<4.0 vol.ppm
水素
H2
<1.0 vol.ppm
一酸化炭素
CO
<0.5 vol.ppm
二酸化炭素
(炭酸ガス)
CO2
<0.5 vol.ppm
全炭化水素
THC
<0.5 vol.ppm

H2O
<-70

11 Kr クリプトン
製品規格
Specifications
容器
Cylinder
充填量
Content
容器弁
Valve
化学式 純度(Purity) 47.0 l 2350 l JIS.W22-14R
Chemical >99.999 vol.% 10.0 l 500 l
Formula 不純物(Impurity) 3.4 l 170 l
窒素
N2
<5.0 vol.ppm
物性データ (Physical Properties)
・分子量 (Molecular Weight) 83.80
・許容濃度 (Permissible Concentration)
  単純窒息性 (Suffocating)
・蒸気圧 (Vapor Pressure)
・沸 点 (Boiling Point) -152.9℃
・臭 気 (Odor)
・爆発下限界 (Low Explosion Limit)
酸素
O2
<1.0 vol.ppm
一酸化炭素
CO
<0.5 vol.ppm
二酸化炭素
(炭酸ガス)
CO2
<0.5 vol.ppm
全炭化水素
THC
<0.5 vol.ppm
キセノン
Xe
<5.0 vol.ppm

H2O
<-70

12 Xe キセノン
製品規格
Specifications
容器
Cylinder
充填量
Content
容器弁
Valve
化学式 純度(Purity) 47.0 l 1400 l JIS.W22-14R
Chemical >99.999 vol.% 10.0 l 300 l
Formula 不純物(Impurity) 3.4 l 100 l
窒素
N2
<5.0 vol.ppm
物性データ (Physical Properties)
・分子量 (Molecular Weight) 131.30
・許容濃度 (Permissible Concentration)
  単純窒息性 (Suffocating)
・蒸気圧 (Vapor Pressure)
・沸 点 (Boiling Point) -108.1℃
・臭 気 (Odor)
・爆発下限界 (Low Explosion Limit)
酸素
O2
<1.0 vol.ppm
一酸化炭素
CO
<0.5 vol.ppm
二酸化炭素
(炭酸ガス)
CO2
<0.5 vol.ppm
全炭化水素
THC
<0.5 vol.ppm
クリプトン
Kr
<5.0 vol.ppm

H2O
<-70

13 NO 一酸化窒素
製品規格
Specifications
容器
Cylinder
充填量
Content
容器弁
Valve
化学式 純度(Purity) 47.0 l 0.98MPa JIS.W22-14R
Chemical >99 vol.% 10.0 l
Formula 不純物(Impurity) 3.4 l
二酸化窒素
NO2
<2000 vol.ppm
物性データ (Physical Properties)
・分子量 (Molecular Weight) 30.01
・許容濃度 (Permissible Concentration) 25ppm
・蒸気圧 (Vapor Pressure)
・沸 点 (Boiling Point) -151.8℃
・臭 気 (Odor)
・爆発下限界 (Low Explosion Limit)
窒素
N2
<2500 vol.ppm

14 H2S 硫化水素
製品規格
Specifications
容器
Cylinder
充填量
Content
容器弁
Valve
純度(Purity) 10.0 l 0.9MPa JIS.W22-14L
>99.99 vol.% 3.4 l
物性データ (Physical Properties)
・分子量 (Molecular Weight) 34.08
・許容濃度 (Permissible Concentration) 10ppm
・蒸気圧 (Vapor Pressure) 1.034MPa
・沸 点 (Boiling Point) -60.3℃
・臭 気 (Odor)
  腐卵臭 (Rotten Egg Odor)
・爆発下限界 (Low Explosion Limit) 4.3%

15 D2 重水素
製品規格
Specifications
容器
Cylinder
充填量
Content
容器弁
Valve
化学式 純度(Purity) 10.0 l 2.9MPa,6.9MPa JIS.W22-14L
Chemical >99.6 vol.% 3.4 l
Formula 不純物(Impurity)
物性データ (Physical Properties)
・分子量 (Molecular Weight) 4.032
・許容濃度 (Permissible Concentration)
  単純窒息性 (Suffocating)
・蒸気圧 (Vapor Pressure)
・沸 点 (Boiling Point) -249.59℃
・臭 気 (Odor)
・爆発下限界 (Low Explosion Limit) 5%
窒素
N2
<10 vol.ppm
酸素
O2
<5 vol.ppm
全炭化水素
THC
<1 vol.ppm
一酸化炭素
CO
<5 vol.ppm
二酸化炭素
(炭酸ガス)
CO2
<5 vol.ppm
重水
D2O
<10 vol.ppm

16 C2H4 エチレン
製品規格
Specifications
容器
Cylinder
充填量
Content
容器弁
Valve
純度(Purity) 47.0 l 3.9MPa JIS.W22-14L
>99.9 vol.% 10.0 l
3.4 l
物性データ (Physical Properties)
・分子量 (Molecular Weight) 28.05
・許容濃度 (Permissible Concentration) 200ppm
・蒸気圧 (Vapor Pressure) 4.053MPa
・沸 点 (Boiling Point) -103.7℃
・臭 気 (Odor)
・爆発下限界 (Low Explosion Limit) 2.7%

17 C2H6 エタン
製品規格
Specifications
容器
Cylinder
充填量
Content
容器弁
Valve
純度(Purity) 47.0 l 2.0MPa JIS.W22-14L
>99.7 vol.% 10.0 l
3.4 l
物性データ (Physical Properties)
・分子量 (Molecular Weight) 30.07
・許容濃度 (Permissible Concentration) 1000ppm
・蒸気圧 (Vapor Pressure) 2.391MPa
・沸 点 (Boiling Point) -88.6℃
・臭 気 (Odor)
・爆発下限界 (Low Explosion Limit) 3%