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高純度ガス｜Pure Gases

01 O2　酸素
製品規格
Specifications		 容器
Cylinder		 充填量
Content		 容器弁
Valve
化学式 純度（Purity） 47.0 l 14.7MPa JIS.W22－14R
Chemical ＞99.99995 vol.% ＞99.999 vol.% ＞99.9 vol.% 10.0 l
Formula 不純物（Impurity） 3.4 l
窒素
N2		 ＜0.20 vol.% ＜2.0 vol.ppm ＜900 vol.ppm
物性データ （Physical Properties）
・分子量 （Molecular Weight） 32.00
・許容濃度 （Permissible Concentration） －
・蒸気圧 （Vapor Pressure） －
・沸　点 （Boiling Point） -183.0℃
・臭　気 （Odor） －
・爆発下限界 （Low Explosion Limit） －
アルゴン
Ar		 ＜0.05 vol.ppm ＜5.0 vol.ppm ＜900 vol.ppm
全炭化水素
THC		 ＜0.02 vol.ppm ＜0.5 vol.ppm ＜900 vol.ppm
一酸化炭素
CO		 ＜0.02 vol.ppm ＜0.5 vol.ppm －
二酸化炭素
（炭酸ガス）
CO2		 ＜0.02 vol.ppm ＜0.5 vol.ppm －
亜酸化窒素
N2O		 － ＜1.0 vol.ppm －
水
H2O		 ＜-80 ℃ ＜-80 ℃ ＜-70 ℃

02 N2　窒素
製品規格
Specifications		 容器
Cylinder		 充填量
Content		 容器弁
Valve
化学式 純度（Purity） 47.0 l 14.7MPa JIS.W22－14R
Chemical ＞99.99995 vol.% ＞99.9998 vol.% ＞99.9995 vol.% 10.0 l
Formula 不純物（Impurity） 3.4 l
酸素
O2		 ＜0.10 vol.% ＜0.3 vol.ppm ＜0.5 vol.ppm
物性データ （Physical Properties）
・分子量 （Molecular Weight） 28.01
・許容濃度 （Permissible Concentration）
　　単純窒息性 （Suffocating）
・蒸気圧 （Vapor Pressure） －
・沸　点 （Boiling Point） -195.8℃
・臭　気 （Odor） －
・爆発下限界 （Low Explosion Limit） －

一酸化炭素
CO		 ＜0.10 vol.ppm ＜0.3 vol.ppm ＜1.0 vol.ppm
二酸化炭素
（炭酸ガス）
CO2		 ＜0.10 vol.ppm ＜0.3 vol.ppm ＜1.0 vol.ppm
全炭化水素
THC		 ＜0.05 vol.ppm ＜0.1 vol.ppm ＜1.0 vol.ppm
窒素酸化物
NOx		 ＜0.01 vol.ppm ＜0.1 vol.ppm －
亜硫酸ガス
（二酸化硫黄）
SO2		 ＜0.01 vol.ppm ＜0.1 vol.ppm －
水
H2O		 ＜-80 ℃ ＜-80 ℃ ＜-70 ℃

03 Ar　アルゴン
製品規格
Specifications		 容器
Cylinder		 充填量
Content		 容器弁
Valve
化学式 純度（Purity） 47.0 l 14.7MPa JIS.W22－14R
Chemical ＞99.9999 vol.% ＞99.9995 vol.% ＞99.999 vol.% 10.0 l
Formula 不純物（Impurity） 3.4 l
窒素
N2		 ＜0.3 vol.ppm ＜0.5 vol.ppm －
物性データ （Physical Properties）
・分子量 （Molecular Weight） 39.95
・許容濃度 （Permissible Concentration）
　　単純窒息性 （Suffocating）
・蒸気圧 （Vapor Pressure） －
・沸　点 （Boiling Point） -185.8℃
・臭　気 （Odor） －
・爆発下限界 （Low Explosion Limit） －
酸素
O2		 ＜0.1 vol.ppm ＜0.2 vol.ppm ＜0.2 vol.ppm
水素
H2		 ＜0.1 vol.ppm ＜0.5 vol.ppm ＜1.0 vol.ppm
一酸化炭素
CO		 ＜0.1 vol.ppm ＜0.2 vol.ppm －
二酸化炭素
（炭酸ガス）
CO2		 ＜0.1 vol.ppm ＜0.2 vol.ppm ＜1.0 vol.ppm
全炭化水素
THC		 ＜0.1 vol.ppm ＜0.2 vol.ppm ＜1.0 vol.ppm
水
H2O		 ＜-80 ℃ ＜-80 ℃ ＜-70 ℃

04 Air　圧縮空気
製品規格
Specifications		 容器
Cylinder		 充填量
Content		 容器弁
Valve
化学式 純度（Purity） 47.0 l 14.7MPa JIS.W22－14R
Chemical 大気組成 大気組成 大気組成 10.0 l
Formula 不純物（Impurity） 3.4 l
一酸化炭素
CO		 ＜0.10 vol.ppm ＜0.50 vol.ppm ＜1 vol.ppm
物性データ （Physical Properties）
・分子量 （Molecular Weight） －
・許容濃度 （Permissible Concentration） －
・蒸気圧 （Vapor Pressure） －
・沸　点 （Boiling Point） －
・臭　気 （Odor） －
・爆発下限界 （Low Explosion Limit） －
二酸化炭素
（炭酸ガス）
CO2		 ＜0.10 vol.ppm ＜0.50 vol.ppm ＜1 vol.ppm
全炭化水素
THC		 ＜0.10 vol.ppm ＜0.50 vol.ppm ＜1 vol.ppm
窒素酸化物
NOx		 ＜0.01 vol.ppm ＜0.05 vol.ppm －
亜硫酸ガス
（二酸化硫黄）
SO2		 ＜0.01 vol.ppm ＜0.05 vol.ppm －
水
H2O		 ＜-80 ℃ ＜-80 ℃ ＜-70 ℃

05 H2　水素
製品規格
Specifications		 容器
Cylinder		 充填量
Content		 容器弁
Valve
化学式 純度（Purity） 47.0 l 14.7MPa JIS.W22－14L
Chemical ＞99.99999 vol.% ＞99.999 vol.% 10.0 l
Formula 不純物（Impurity） 3.4 l
窒素
N2		 ＜0.05 vol.ppm ＜5.0 vol.ppm
物性データ （Physical Properties）
・分子量 （Molecular Weight） 2.02
・許容濃度 （Permissible Concentration）
　　単純窒息性 （Suffocating）
・蒸気圧 （Vapor Pressure） －
・沸　点 （Boiling Point） -252.8℃
・臭　気 （Odor） －
・爆発下限界 （Low Explosion Limit） 4%
酸素
O2		 ＜0.02 vol.ppm ＜1.0 vol.ppm
一酸化炭素
CO		 ＜0.01 vol.ppm ＜0.1 vol.ppm
二酸化炭素
（炭酸ガス）
CO2		 ＜0.01 vol.ppm ＜0.1 vol.ppm
全炭化水素
THC		 ＜0.01 vol.ppm ＜0.1 vol.ppm
水
H2O		 ＜-80 ℃ ＜-70 ℃

06 He　ヘリウム
製品規格
Specifications		 容器
Cylinder		 充填量
Content		 容器弁
Valve
化学式 純度（Purity） 47.0 l 14.7MPa,11.8MPa JIS.W22－14L
Chemical ＞99.99995 vol.% ＞99.999 vol.% 10.0 l JIS.W22－14R
Formula 不純物（Impurity） 3.4 l
窒素
N2		 ＜0.10 vol.ppm ＜5 vol.ppm
物性データ （Physical Properties）
・分子量 （Molecular Weight） 4.00
・許容濃度 （Permissible Concentration）
　　単純窒息性 （Suffocating）
・蒸気圧 （Vapor Pressure） －
・沸　点 （Boiling Point） -268.9℃
・臭　気 （Odor） －
・爆発下限界 （Low Explosion Limit） －
酸素
O2		 ＜0.05 vol.ppm ＜1 vol.ppm
一酸化炭素
CO		 ＜0.02 vol.ppm － 
二酸化炭素
（炭酸ガス）
CO2		 ＜0.02 vol.ppm ＜1 vol.ppm
全炭化水素
THC		 ＜0.01 vol.ppm ＜1 vol.ppm
水
H2O		 ＜-80 ℃ ＜-70 ℃

07 CO2　二酸化炭素（炭酸ガス）
製品規格
Specifications		 容器
Cylinder		 充填量
Content		 容器弁
Valve
化学式 純度（Purity） 47.0 l 25.0 kg JIS.W22－14R
Chemical ＞99.995 vol.% 10.0 l 5.0 kg
Formula 不純物（Impurity） 3.4 l 1.5 kg
窒素
N2		 ＜25 vol.ppm
物性データ （Physical Properties）
・分子量 （Molecular Weight） 44.01
・許容濃度 （Permissible Concentration） 5000ppm
　　単純窒息性 （Suffocating）
・蒸気圧 （Vapor Pressure） 3.546MPa
・沸　点 （Boiling Point） -78.5℃（昇華）
・臭　気 （Odor） －
・爆発下限界 （Low Explosion Limit） －
酸素
O2		 ＜5 vol.ppm
メタン
CH4		 ＜10 vol.ppm
エタン
C2H6		 ＜1 vol.ppm
水素
H2		 ＜5 vol.ppm
水
H2O		 ＜-76 ℃

08 CO　一酸化炭素
製品規格
Specifications		 容器
Cylinder		 充填量
Content		 容器弁
Valve
化学式 純度（Purity） 47.0l｜48.0l 9.81MPa JIS.W22－14L
Chemical ＞99.95 vol.% 9.4l｜10.0l
Formula 不純物（Impurity） 3.4l
窒素
N2		 ＜150 vol.ppm
物性データ （Physical Properties）
・分子量 （Molecular Weight） 28.01
・許容濃度 （Permissible Concentration） 25ppm
・蒸気圧 （Vapor Pressure） －
・沸　点 （Boiling Point） -191.5℃
・臭　気 （Odor） －
・爆発下限界 （Low Explosion Limit） 12.5%
酸素
O2		 ＜30 vol.ppm
二酸化炭素
（炭酸ガス）
CO2		 ＜30 vol.ppm
水素
H2		 ＜15 vol.ppm
メタン
CH4		 ＜1 vol.ppm
水
H2O		 ＜-70 ℃

09 CH4　メタン
製品規格
Specifications		 容器
Cylinder		 充填量
Content		 容器弁
Valve
化学式 純度（Purity） 47.0 l 4.90 MPa JIS.W22－14L
Chemical ＞99.999 vol.% ＞99.9 vol.% 10.0 l 9.81 MPa
Formula 不純物（Impurity） 3.4 l
酸素
O2		 ＜1 vol.ppm ＜50 vol.ppm
物性データ （Physical Properties）
・分子量 （Molecular Weight） 16.04
・許容濃度 （Permissible Concentration） 1000ppm
・蒸気圧 （Vapor Pressure） －
・沸　点 （Boiling Point） -161.5℃
・臭　気 （Odor） －
・爆発下限界 （Low Explosion Limit） 5%
窒素
N2		 ＜5 vol.ppm ＜700 vol.ppm
一酸化炭素
CO		 ＜1 vol.ppm － 
二酸化炭素
（炭酸ガス）
CO2		 ＜1 vol.ppm ＜10 vol.ppm
エタン
C2H6		 ＜1 vol.ppm ＜200 vol.ppm
水
H2O		 ＜-70 ℃ ＜-65 ℃

10 Ne　ネオン
製品規格
Specifications		 容器
Cylinder		 充填量
Content		 容器弁
Valve
化学式 純度（Purity） 47.0 l 3500 l JIS.W22－14R
Chemical ＞99.999 vol.% 10.0 l 750 l
Formula 不純物（Impurity） 3.4 l 250 l
窒素
N2		 ＜2.0 vol.ppm
物性データ （Physical Properties）
・分子量 （Molecular Weight） 20.18
・許容濃度 （Permissible Concentration）
　　単純窒息性 （Suffocating）
・蒸気圧 （Vapor Pressure） －
・沸　点 （Boiling Point） -245.9℃
・臭　気 （Odor） －
・爆発下限界 （Low Explosion Limit） －
酸素
O2		 ＜1.0 vol.ppm
ヘリウム
He		 ＜4.0 vol.ppm
水素
H2		 ＜1.0 vol.ppm
一酸化炭素
CO		 ＜0.5 vol.ppm
二酸化炭素
（炭酸ガス）
CO2		 ＜0.5 vol.ppm
全炭化水素
THC		 ＜0.5 vol.ppm
水
H2O		 ＜-70 ℃

11 Kr　クリプトン
製品規格
Specifications		 容器
Cylinder		 充填量
Content		 容器弁
Valve
化学式 純度（Purity） 47.0 l 2350 l JIS.W22－14R
Chemical ＞99.999 vol.% 10.0 l 500 l
Formula 不純物（Impurity） 3.4 l 170 l
窒素
N2		 ＜5.0 vol.ppm
物性データ （Physical Properties）
・分子量 （Molecular Weight） 83.80
・許容濃度 （Permissible Concentration）
　　単純窒息性 （Suffocating）
・蒸気圧 （Vapor Pressure） －
・沸　点 （Boiling Point） -152.9℃
・臭　気 （Odor） －
・爆発下限界 （Low Explosion Limit） －
酸素
O2		 ＜1.0 vol.ppm
一酸化炭素
CO		 ＜0.5 vol.ppm
二酸化炭素
（炭酸ガス）
CO2		 ＜0.5 vol.ppm
全炭化水素
THC		 ＜0.5 vol.ppm
キセノン
Xe		 ＜5.0 vol.ppm
水
H2O		 ＜-70 ℃

12 Xe　キセノン
製品規格
Specifications		 容器
Cylinder		 充填量
Content		 容器弁
Valve
化学式 純度（Purity） 47.0 l 1400 l JIS.W22－14R
Chemical ＞99.999 vol.% 10.0 l 300 l
Formula 不純物（Impurity） 3.4 l 100 l
窒素
N2		 ＜5.0 vol.ppm
物性データ （Physical Properties）
・分子量 （Molecular Weight） 131.30
・許容濃度 （Permissible Concentration）
　　単純窒息性 （Suffocating）
・蒸気圧 （Vapor Pressure） －
・沸　点 （Boiling Point） -108.1℃
・臭　気 （Odor） －
・爆発下限界 （Low Explosion Limit） －
酸素
O2		 ＜1.0 vol.ppm
一酸化炭素
CO		 ＜0.5 vol.ppm
二酸化炭素
（炭酸ガス）
CO2		 ＜0.5 vol.ppm
全炭化水素
THC		 ＜0.5 vol.ppm
クリプトン
Kr		 ＜5.0 vol.ppm
水
H2O		 ＜-70 ℃

13 NO　一酸化窒素
製品規格
Specifications		 容器
Cylinder		 充填量
Content		 容器弁
Valve
化学式 純度（Purity） 47.0 l 0.98MPa JIS.W22－14R
Chemical ＞99 vol.% 10.0 l
Formula 不純物（Impurity） 3.4 l
二酸化窒素
NO2		 ＜2000 vol.ppm
物性データ （Physical Properties）
・分子量 （Molecular Weight） 30.01
・許容濃度 （Permissible Concentration） 25ppm
・蒸気圧 （Vapor Pressure） －
・沸　点 （Boiling Point） -151.8℃
・臭　気 （Odor） －
・爆発下限界 （Low Explosion Limit） －
窒素
N2		 ＜2500 vol.ppm

14 H2S　硫化水素
製品規格
Specifications		 容器
Cylinder		 充填量
Content		 容器弁
Valve
純度（Purity） 10.0 l 0.9MPa JIS.W22－14L
＞99.99 vol.% 3.4 l
物性データ （Physical Properties）
・分子量 （Molecular Weight） 34.08
・許容濃度 （Permissible Concentration） 10ppm
・蒸気圧 （Vapor Pressure） 1.034MPa
・沸　点 （Boiling Point） -60.3℃
・臭　気 （Odor）
　　腐卵臭 （Rotten Egg Odor）
・爆発下限界 （Low Explosion Limit） 4.3%

15 D2　重水素
製品規格
Specifications		 容器
Cylinder		 充填量
Content		 容器弁
Valve
化学式 純度（Purity） 10.0 l 2.9MPa,6.9MPa JIS.W22－14L
Chemical ＞99.6 vol.% 3.4 l
Formula 不純物（Impurity）
物性データ （Physical Properties）
・分子量 （Molecular Weight） 4.032
・許容濃度 （Permissible Concentration）
　　単純窒息性 （Suffocating）
・蒸気圧 （Vapor Pressure） －
・沸　点 （Boiling Point） -249.59℃
・臭　気 （Odor） －
・爆発下限界 （Low Explosion Limit） 5%
窒素
N2		 ＜10 vol.ppm
酸素
O2		 ＜5 vol.ppm
全炭化水素
THC		 ＜1 vol.ppm
一酸化炭素
CO		 ＜5 vol.ppm
二酸化炭素
（炭酸ガス）
CO2		 ＜5 vol.ppm
重水
D2O		 ＜10 vol.ppm

16 C2H4　エチレン
製品規格
Specifications		 容器
Cylinder		 充填量
Content		 容器弁
Valve
純度（Purity） 47.0 l 3.9MPa JIS.W22－14L
＞99.9 vol.% 10.0 l
3.4 l
物性データ （Physical Properties）
・分子量 （Molecular Weight） 28.05
・許容濃度 （Permissible Concentration） 200ppm
・蒸気圧 （Vapor Pressure） 4.053MPa
・沸　点 （Boiling Point） -103.7℃
・臭　気 （Odor） －
・爆発下限界 （Low Explosion Limit） 2.7%

17 C2H6　エタン
製品規格
Specifications		 容器
Cylinder		 充填量
Content		 容器弁
Valve
純度（Purity） 47.0 l 2.0MPa JIS.W22－14L
＞99.7 vol.% 10.0 l
3.4 l
物性データ （Physical Properties）
・分子量 （Molecular Weight） 30.07
・許容濃度 （Permissible Concentration） 1000ppm
・蒸気圧 （Vapor Pressure） 2.391MPa
・沸　点 （Boiling Point） -88.6℃
・臭　気 （Odor） －
・爆発下限界 （Low Explosion Limit） 3%