標準ガス｜Standard Gases

01 無機成分
成分ガス名 Components	化学式 Chemical Formula	ベースガス（最高充填圧力：単位[MPa]） Base Gas						製造可能濃度範囲 Conc.｜Grade
成分ガス名 Components	化学式 Chemical Formula	窒素 N2 （14.7）	アルゴン Ar （14.7）	ヘリウム He （11.8）	水素 H2 （11.8）	空気 Air （11.8）	酸素 O2 （9.81）	製造可能濃度範囲 Conc.｜Grade
水素 Hydrogen	H2	○	○	○	－	100ppm～ 0.1%	1ppm～ 0.1%	1ppm～ 50%
重水素 Heavy hydrogen （Deuterium）	D2	○	○	50ppm～ 20%	×	×	×	1ppm～ 20%
ヘリウム Helium	He	○	○	－	100ppm～ 50%	○	○	10ppm～ 50%
窒素 Nitrogen	N2	－	○	○	○	×	50ppm～ 50%	1ppm～ 50%
酸素 Oxygen	O2	○	○	○	1ppm～ 0.1%	×	－	1ppm～ 50%
ネオン Neon	Ne	○	○	100ppm～ 50%	×	○	○	10ppm～ 50%
塩素 Chlorine	Cl2	○	○	○	×	×	×	10ppm～ 30%
アルゴン Argon	Ar	○	－	○	5ppm～ 50%	×	○	1ppm～ 50%
キセノン Xenon	Xe	○	○	1ppm～ 50%	○	○	○	10ppm～ 50%
クリプトン Krypton	Kr	100ppm～ 50%	○	1ppm～ 50%	○	100ppm～ 50%	100ppm～ 50%	5ppm～ 50%
塩化水素 Hydrogen chloride	HCl	○	○	○	○	×	×	0.1%～ 30%
臭化水素 Hydrogen bromide	HBr	○	○	○	×	×	×	0.1%～ 20%
水 Water	H2O	○	○	×	×	○	×	10ppm～ 300ppm
硫化水素 Hydrogen sulfide	H2S	○	○	○	○	×	×	5ppm～ 50%
一酸化炭素 Carbon monoxide	CO	○	○	○	○	1ppm～ 4.1%	1ppm～ 0.1%	1ppm～ 50%
二酸化炭素（炭酸ガス） Carbon dioxide	CO2	○	○	○	○	○	○	1ppm～ 50%
二硫化炭素 Carbon disulfide	CS2	○	○	○	○	×	×	5ppm～ 2.5%
硫化カルボニル Carbonyl sulfide	COS	○	○	○	×	×	×	5ppm～ 10%
一酸化窒素 Nitrogen monoxide	NO	○	500ppm～ 40%	500ppm～ 40%	×	×	×	0.1ppm～ 40%
二酸化窒素 Nitrogen dioxide	NO2	○	500ppm～ 5%	500ppm～ 5%	×	○	500ppm～ 5%	5ppm～ 5%
亜酸化窒素 Nitrous oxide	N2O	○	○	○	×	○	○	1ppm～ 50%
アンモニア Ammonia	NH3	○	100ppm～ 50%	100ppm～ 50%	100ppm～ 50%	5ppm～ 0.1%	×	5ppm～ 50%
亜硫酸ガス（二酸化硫黄） Sulfur dioxide	SO2	○	0.2%～ 18%	0.2%～ 18%	0.2%～ 18%	○	0.2%～ 18%	0.1ppm～ 18%
四フッ化硫黄 Sulfur tetrafluoride	SF4	○	○	○	×	×	×	0.1%～ 10%
六フッ化硫黄 Sulfur hexafluoride	SF6	○	○	○	○	○	○	1ppm～ 50%

02 有機成分
成分ガス名 Components	化学式 Chemical Formula	ベースガス（最高充填圧力：単位[MPa]） Base Gas						製造可能濃度範囲 Conc.｜Grade
成分ガス名 Components	化学式 Chemical Formula	窒素 N2 （14.7）	アルゴン Ar （14.7）	ヘリウム He （11.8）	水素 H2 （11.8）	空気 Air （11.8）	酸素 O2 （9.81）	製造可能濃度範囲 Conc.｜Grade
アクリロニトリル Acrylonitrile	CH2＝CHCN	○	○	○	○	×	×	100ppm～ 0.75%
アクロレイン（アクリルアルデヒド） Acrolein	CH2＝CHCHO	○	○	○	○	×	×	100ppm～ 1.5%
アセチレン Acetylene	C2H2	○	○	○	○	×	×	1ppm～ 10%
アセトアルデヒド Acetaldehyde	CH3CHO	○	○	○	○	×	×	100ppm～ 7%
アセトン Acetone	CH3COCH3	○	○	○	○	×	×	10ppm～ 1.5%
イソブタン i-Butane	i-C4H10	○	○	○	○	△	×	1ppm～ 20%
イソブテン i-Butene	i-C4H8	○	○	○	○	△	×	10ppm～ 20%
イソプレン（2-メチル-1,3-ブタジエン） i-Prene	C5H8	○	○	○	○	×	×	100ppm～ 4.5%
イソプロピルアルコール（2-プロパノール） i-Propyl alcohol	i-C3H7OH	○	○	○	○	×	×	50ppm～ 500ppm
イソプロピルクロライド i-Propyl　chloride	（CH3）2CHCl	○	○	○	○	×	×	100ppm～ 4%
イソペンタン（2-メチルブタン） i-Pentane	i-C5H12	○	○	○	○	△	×	1ppm～ 5%
エタン Ethane	C2H6	○	○	○	○	△	×	1ppm～ 50%
エチルアセチレン（1-ブチン） Ethylacetylene	C2H5C≡CH	○	○	○	○	×	×	50ppm～ 10%
エチルアルコール Ethyl alcohol	C2H5OH	○	○	○	○	×	×	10ppm～ 0.2%
2-エチル-1-ブテン 2-Ethyl-1-butene	（C2H5）C4H7	○	○	○	○	△	×	100ppm～ 1%
エチルベンゼン Ethylbenzene	C6H5C2H5	○	○	○	○	△	×	10ppm～ 400ppm
エチルメルカプタン Ethylmercaptan	C2H5SH	○	○	○	○	×	×	100ppm～ 4%
エチレン Ethylene	C2H4	○	○	○	○	△	×	1ppm～ 50%
エチレンオキサイド（酸化エチレン） Ethylene oxide	C2H4O	○	○	○	○	×	×	10ppm～ 10%
塩化エチル Chloroethane	C2H5Cl	○	○	○	○	△	×	10ppm～ 10%
塩化ビニル Vinyl chloride	CH2＝CHCl	○	○	○	○	△	×	10ppm～ 10%
塩化メチル Chloromethane	CH3Cl	○	○	○	○	△	×	10ppm～ 15%
エンフロレン（エトレン） Enflurane	CHF2OCF2CHCLF	○	○	○	○	△	×	200ppm～ 1%
オクタフルオロシクロペンテン Octafluorocyclopentene	C5F8	○	○	○	×	×	×	10ppm～ 1%
オルトキシレン o-Xylene	o-C6H4（CH3）2	○	○	○	○	△	×	10ppm～ 300ppm
蟻酸エチル Ethyl formate	HCOOC2H5	○	○	○	○	×	×	100ppm～ 1.5%
蟻酸メチル Methyl formate	HCOOCH3	○	○	○	○	×	×	100ppm～ 4%
クロロホルム（トリクロロメタン） Chloroform	CHCl3	○	○	○	○	×	×	10ppm～ 1%
酢酸エチル Ethyl acetate	CH3COOC2H5	○	○	○	○	×	×	100ppm～ 0.5%
酢酸ビニル Vinyl acetate	CH3COOCH＝CH2	○	○	○	○	×	×	100ppm～ 0.5%
酢酸メチル Methyl acetate	CH3COOCH3	○	○	○	○	×	×	100ppm～ 1%
ジエチルサルファイド（硫化エチル） Diethyl sulfide	（C2H5）2S	○	○	○	○	×	×	100ppm～ 0.3%
シクロプロパン Cyclopropane	（CH2）3	○	○	○	○	△	×	10ppm～ 10%
シクロヘキサン Cyclohexane	C6H12	○	○	○	○	△	×	50ppm～ 0.5%
シクロヘキセン Cyclohexene	C6H10	○	○	○	○	△	×	50ppm～ 0.5%
1,1-ジクロロエタン 1,1-Dichloroethane	1,1-C2H4Cl2	○	○	○	○	×	×	10ppm～ 1%
1,2-ジクロロエタン（二塩化エチレン） 1,2-Dichloroethane	1,2-C2H4Cl2	○	○	○	○	×	×	10ppm～ 0.5%
1,1-ジクロロエチレン（塩化ビニリデン） 1,1-Dichloroethylene	1,1-C2H2Cl2	○	○	○	○	×	×	10ppm～ 1%
ジクロロメタン（塩化メチレン） Dichloromethane	CH2Cl2	○	○	○	○	×	×	50ppm～ 3%
シス-1,2-ジクロロエチレン cis-1,2-Dichloroethylene	cis-1,2-C2H2Cl2	○	○	○	○	×	×	10ppm～ 1%
シス-2-ブテン cis-2-Butene	cis-2-C4H8	○	○	○	○	△	×	10ppm～ 10%
シス-2-ヘキセン cis-2-Hexene	cis-2-C6H12	○	○	○	○	△	×	100ppm～ 1%
ジブロモメタン（臭化メチレン） Dibromomethane	CH2Br2	○	○	○	○	△	×	100ppm～ 0.25%
ジメチルアミン Dimethylamine	（CH3）2NH	○	○	○	○	×	×	100ppm～ 10%
ジメチルエーテル Dimethyl ether	CH3OCH3	○	○	○	○	×	×	50ppm～ 10%
ジメチルサルファイド（硫化メチル） Dimethyl sulfide	（CH3）2S	○	○	○	○	×	×	5ppm～ 3.9%
ジメチルジサルファイド（二硫化メチル） Dimethyl disulfide	（CH3）2S2	○	○	○	○	×	×	10ppm～ 0.1%（目標値）
3,3-ジメチル-1-ブテン 3,3-Dimethyl-1-butene	CH3C（CH3）2CH＝CH2	○	○	○	○	△	×	0.3%～ 3.4%
臭化エチル Ethyl bromide	C2H5Br	○	○	○	○	×	×	200ppm～ 1%
スチレン Styrene	C6H5CH＝CH2	○	○	○	×	×	×	10ppm～ 200ppm
チオフェン Thiophene	C4H4S	○	○	○	○	×	×	50ppm～ 0.1%
トランス-1,2-ジクロロエチレン trans-1,2-Dichloroethylene	trans-1,2-C2H2Cl2	○	○	○	○	×	×	100ppm～ 1%
トランス-2-ブテン trans-2-Butene	trans-2-C4H8	○	○	○	○	×	×	10ppm～ 5%
トランス-2-ヘキセン trans-2-Hexene	trans-2-C6H12	○	○	○	○	△	×	100ppm～ 0.2%
トリエチルアミン Triethylamine	（C2H5）3N	○	○	○	○	△	×	100ppm～ 0.4%
トリメチルアミン Trimethylamine	（CH3）3N	○	○	○	○	△	×	100ppm～ 10%
トルエン Toluene	C6H5CH3	○	○	○	○	△	×	10ppm～ 0.15%
ネオペンタン（2,2-ジメチルプロパン） Neopentane	C（CH3）4	○	○	○	○	△	×	100ppm～ 1%
ノルマルブタン n-Butane	n-C4H10	○	○	○	○	△	×	1ppm～ 15%
ノルマルヘキサン n-Hexane	n-C6H14	○	○	○	○	×	×	1ppm～ 1%
ノルマルヘプタン n-Heptane	n-C7H16	○	○	○	○	×	×	100ppm～ 0.25%
ノルマルペンタン n-Pentane	n-C5H12	○	○	○	○	△	×	1ppm～ 4%
パラキシレン p-Xylene	p-C6H4（CH3）2	○	○	○	○	△	×	10ppm～ 300ppm
1,2-ブタジエン 1,2-Butadiene	1,2-C4H6	○	○	○	○	×	×	100ppm～ 2%
1,3-ブタジエン 1,3-Butadiene	1,3-C4H6	○	○	○	○	×	×	10ppm～ 15%
1-ブテン 1-Butene	1-C4H8	○	○	○	○	△	×	10ppm～ 20%
フローセン（ハロタン） Fluothane	CF3CHClBr	○	○	○	○	△	×	10ppm～ 300ppm
プロパジエン（アレン） Propadiene	CH2＝C＝CH2	○	○	○	○	×	×	10ppm～ 10%
プロパン Propane	C3H8	○	○	○	○	△	×	1ppm～ 20%
プロピレン Propylene	C3H6	○	○	○	○	△	×	1ppm～ 30%
プロピレンオキサイド（酸化プロピレン） Propylene oxide	C3H6O	○	○	○	○	×	×	100ppm～ 0.1%
フロン-14 Freon 14	CF4	○	○	○	○	○	○	100ppm～ 15%
フロン-23 Freon 23	CHF3	○	○	○	○	△	×	50ppm～ 10%
フロン-116 Freon 116	C2F6	○	○	○	○	△	△	100ppm～ 10%
フロン-134a Freon 134a	C2H2F4	○	○	○	○	×	×	100ppm～ 45%
フロン-218 Freon 218	C3F8	○	○	○	○	△	△	100ppm～ 10%
フロン-c318 Freon c318	C4F8	○	○	○	○	×	×	100ppm～ 10%
1-ヘキセン 1-Hexene	1-C6H12	○	○	○	○	△	×	100ppm～ 1%
ベンゼン Benzene	C6H6	○	○	○	○	△	×	1ppm～ 0.2%
1-ペンテン 1-Pentene	1-C5H10	○	○	○	○	△	×	200ppm～ 2%
メタキシレン m-Xylene	m-C6H4（CH3）2	○	○	○	○	×	×	10ppm～ 300ppm
メタン Methane	CH4	○	○	○	○	△	×	1ppm～ 50%
メチルアセチレン（アリレン） Methylacetylene	CH3C≡CH	○	○	○	○	×	×	10ppm～ 10%
メチルアルコール Methyl alcohol	CH3OH	○	○	○	×	×	×	100ppm～ 0.5%
メチルエチルケトン（2-ブタノン） Ethyl methyl ketone	CH3（C2H5）CO	○	○	○	○	×	×	100ppm～ 0.5%
3-メチル-1-ブテン 3-Methyl-1-butene	（CH3）C4H7	○	○	○	○	△	×	0.2%～ 2%
2-メチルペンタン 2-Methylpentane	（CH3）C5H11	○	○	○	○	△	×	200ppm～ 1%
3-メチル-1-ペンテン 3-Methyl-1-pentene	3-CH3-1-C5H9	○	○	○	○	△	×	100ppm～ 1%
4-メチル-1-ペンテン 4-Methyl-1-pentene	4-CH3-1-C5H9	○	○	○	○	△	×	0.1%～ 2%
メチルメルカプタン Methylmercaptan	CH3SH	○	○	○	○	×	×	10ppm～ 10%
モノメチルアミン Methylamine	CH3NH2	○	○	○	○	△	×	100ppm～ 10%
ヨウ化エチル Ethyl iodide	C2H5l	○	○	○	○	×	×	100ppm～ 0.9%
ヨウ化メチル Methyl iodide	CH3l	○	○	○	○	×	×	10ppm～ 3%
六フッ化プロピレン Hexafluoropropylene	C3F6	○	○	○	×	×	×	100ppm～ 10%