標準ガス|Standard Gases
成分ガス名 Components |
化学式 Chemical Formula |
ベースガス(最高充填圧力:単位[MPa]) Base Gas |
製造可能 濃度範囲 Conc.|Grade |
|||||
窒素 N2 (14.7) |
アルゴン Ar (14.7) |
ヘリウム He (11.8) |
水素 H2 (11.8) |
空気 Air (11.8) |
酸素 O2 (9.81) |
|||
水素 Hydrogen |
H2 | ○ | ○ | ○ | - | 100ppm~ 0.1% |
1ppm~ 0.1% |
1ppm~ 50% |
重水素 Heavy hydrogen (Deuterium) |
D2 | ○ | ○ | 50ppm~ 20% |
× | × | × | 1ppm~ 20% |
ヘリウム Helium |
He | ○ | ○ | - | 100ppm~ 50% |
○ | ○ | 10ppm~ 50% |
窒素 Nitrogen |
N2 | - | ○ | ○ | ○ | × | 50ppm~ 50% |
1ppm~ 50% |
酸素 Oxygen |
O2 | ○ | ○ | ○ | 1ppm~ 0.1% |
× | - | 1ppm~ 50% |
ネオン Neon |
Ne | ○ | ○ | 100ppm~ 50% |
× | ○ | ○ | 10ppm~ 50% |
塩素 Chlorine |
Cl2 | ○ | ○ | ○ | × | × | × | 10ppm~ 30% |
アルゴン Argon |
Ar | ○ | - | ○ | 5ppm~ 50% |
× | ○ | 1ppm~ 50% |
キセノン Xenon |
Xe | ○ | ○ | 1ppm~ 50% |
○ | ○ | ○ | 10ppm~ 50% |
クリプトン Krypton |
Kr | 100ppm~ 50% |
○ | 1ppm~ 50% |
○ | 100ppm~ 50% |
100ppm~ 50% |
5ppm~ 50% |
塩化水素 Hydrogen chloride |
HCl | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 0.1%~ 30% |
臭化水素 Hydrogen bromide |
HBr | ○ | ○ | ○ | × | × | × | 0.1%~ 20% |
水 Water |
H2O | ○ | ○ | × | × | ○ | × | 10ppm~ 300ppm |
硫化水素 Hydrogen sulfide |
H2S | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 5ppm~ 50% |
一酸化炭素 Carbon monoxide |
CO | ○ | ○ | ○ | ○ | 1ppm~ 4.1% |
1ppm~ 0.1% |
1ppm~ 50% |
二酸化炭素(炭酸ガス) Carbon dioxide |
CO2 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | 1ppm~ 50% |
二硫化炭素 Carbon disulfide |
CS2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 5ppm~ 2.5% |
硫化カルボニル Carbonyl sulfide |
COS | ○ | ○ | ○ | × | × | × | 5ppm~ 10% |
一酸化窒素 Nitrogen monoxide |
NO | ○ | 500ppm~ 40% |
500ppm~ 40% |
× | × | × | 0.1ppm~ 40% |
二酸化窒素 Nitrogen dioxide |
NO2 | ○ | 500ppm~ 5% |
500ppm~ 5% |
× | ○ | 500ppm~ 5% |
5ppm~ 5% |
亜酸化窒素 Nitrous oxide |
N2O | ○ | ○ | ○ | × | ○ | ○ | 1ppm~ 50% |
アンモニア Ammonia |
NH3 | ○ | 100ppm~ 50% |
100ppm~ 50% |
100ppm~ 50% |
5ppm~ 0.1% |
× | 5ppm~ 50% |
亜硫酸ガス(二酸化硫黄) Sulfur dioxide |
SO2 | ○ | 0.2%~ 18% |
0.2%~ 18% |
0.2%~ 18% |
○ | 0.2%~ 18% |
0.1ppm~ 18% |
四フッ化硫黄 Sulfur tetrafluoride |
SF4 | ○ | ○ | ○ | × | × | × | 0.1%~ 10% |
六フッ化硫黄 Sulfur hexafluoride |
SF6 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | 1ppm~ 50% |
成分ガス名 Components |
化学式 Chemical Formula |
ベースガス(最高充填圧力:単位[MPa]) Base Gas |
製造可能 濃度範囲 Conc.|Grade |
|||||
窒素 N2 (14.7) |
アルゴン Ar (14.7) |
ヘリウム He (11.8) |
水素 H2 (11.8) |
空気 Air (11.8) |
酸素 O2 (9.81) |
|||
アクリロニトリル Acrylonitrile |
CH2=CHCN | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm~ 0.75% |
アクロレイン(アクリルアルデヒド) Acrolein |
CH2=CHCHO | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm~ 1.5% |
アセチレン Acetylene |
C2H2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 1ppm~ 10% |
アセトアルデヒド Acetaldehyde |
CH3CHO | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm~ 7% |
アセトン Acetone |
CH3COCH3 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm~ 1.5% |
イソブタン i-Butane |
i-C4H10 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 1ppm~ 20% |
イソブテン i-Butene |
i-C4H8 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 10ppm~ 20% |
イソプレン(2-メチル-1,3-ブタジエン) i-Prene |
C5H8 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm~ 4.5% |
イソプロピルアルコール(2-プロパノール) i-Propyl alcohol |
i-C3H7OH | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 50ppm~ 500ppm |
イソプロピルクロライド i-Propyl chloride |
(CH3)2CHCl | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm~ 4% |
イソペンタン(2-メチルブタン) i-Pentane |
i-C5H12 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 1ppm~ 5% |
エタン Ethane |
C2H6 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 1ppm~ 50% |
エチルアセチレン(1-ブチン) Ethylacetylene |
C2H5C≡CH | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 50ppm~ 10% |
エチルアルコール Ethyl alcohol |
C2H5OH | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm~ 0.2% |
2-エチル-1-ブテン 2-Ethyl-1-butene |
(C2H5)C4H7 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 100ppm~ 1% |
エチルベンゼン Ethylbenzene |
C6H5C2H5 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 10ppm~ 400ppm |
エチルメルカプタン Ethylmercaptan |
C2H5SH | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm~ 4% |
エチレン Ethylene |
C2H4 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 1ppm~ 50% |
エチレンオキサイド(酸化エチレン) Ethylene oxide |
C2H4O | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm~ 10% |
塩化エチル Chloroethane |
C2H5Cl | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 10ppm~ 10% |
塩化ビニル Vinyl chloride |
CH2=CHCl | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 10ppm~ 10% |
塩化メチル Chloromethane |
CH3Cl | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 10ppm~ 15% |
エンフロレン(エトレン) Enflurane |
CHF2OCF2CHCLF | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 200ppm~ 1% |
オクタフルオロシクロペンテン Octafluorocyclopentene |
C5F8 | ○ | ○ | ○ | × | × | × | 10ppm~ 1% |
オルトキシレン o-Xylene |
o-C6H4(CH3)2 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 10ppm~ 300ppm |
蟻酸エチル Ethyl formate |
HCOOC2H5 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm~ 1.5% |
蟻酸メチル Methyl formate |
HCOOCH3 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm~ 4% |
クロロホルム(トリクロロメタン) Chloroform |
CHCl3 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm~ 1% |
酢酸エチル Ethyl acetate |
CH3COOC2H5 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm~ 0.5% |
酢酸ビニル Vinyl acetate |
CH3COOCH=CH2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm~ 0.5% |
酢酸メチル Methyl acetate |
CH3COOCH3 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm~ 1% |
ジエチルサルファイド(硫化エチル) Diethyl sulfide |
(C2H5)2S | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm~ 0.3% |
シクロプロパン Cyclopropane |
(CH2)3 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 10ppm~ 10% |
シクロヘキサン Cyclohexane |
C6H12 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 50ppm~ 0.5% |
シクロヘキセン Cyclohexene |
C6H10 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 50ppm~ 0.5% |
1,1-ジクロロエタン 1,1-Dichloroethane |
1,1-C2H4Cl2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm~ 1% |
1,2-ジクロロエタン(二塩化エチレン) 1,2-Dichloroethane |
1,2-C2H4Cl2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm~ 0.5% |
1,1-ジクロロエチレン(塩化ビニリデン) 1,1-Dichloroethylene |
1,1-C2H2Cl2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm~ 1% |
ジクロロメタン(塩化メチレン) Dichloromethane |
CH2Cl2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 50ppm~ 3% |
シス-1,2-ジクロロエチレン cis-1,2-Dichloroethylene |
cis-1,2-C2H2Cl2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm~ 1% |
シス-2-ブテン cis-2-Butene |
cis-2-C4H8 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 10ppm~ 10% |
シス-2-ヘキセン cis-2-Hexene |
cis-2-C6H12 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 100ppm~ 1% |
ジブロモメタン(臭化メチレン) Dibromomethane |
CH2Br2 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 100ppm~ 0.25% |
ジメチルアミン Dimethylamine |
(CH3)2NH | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm~ 10% |
ジメチルエーテル Dimethyl ether |
CH3OCH3 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 50ppm~ 10% |
ジメチルサルファイド(硫化メチル) Dimethyl sulfide |
(CH3)2S | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 5ppm~ 3.9% |
ジメチルジサルファイド(二硫化メチル) Dimethyl disulfide |
(CH3)2S2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm~ 0.1%(目標値) |
3,3-ジメチル-1-ブテン 3,3-Dimethyl-1-butene |
CH3C(CH3)2CH=CH2 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 0.3%~ 3.4% |
臭化エチル Ethyl bromide |
C2H5Br | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 200ppm~ 1% |
スチレン Styrene |
C6H5CH=CH2 | ○ | ○ | ○ | × | × | × | 10ppm~ 200ppm |
チオフェン Thiophene |
C4H4S | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 50ppm~ 0.1% |
トランス-1,2-ジクロロエチレン trans-1,2-Dichloroethylene |
trans-1,2-C2H2Cl2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm~ 1% |
トランス-2-ブテン trans-2-Butene |
trans-2-C4H8 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm~ 5% |
トランス-2-ヘキセン trans-2-Hexene |
trans-2-C6H12 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 100ppm~ 0.2% |
トリエチルアミン Triethylamine |
(C2H5)3N | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 100ppm~ 0.4% |
トリメチルアミン Trimethylamine |
(CH3)3N | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 100ppm~ 10% |
トルエン Toluene |
C6H5CH3 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 10ppm~ 0.15% |
ネオペンタン(2,2-ジメチルプロパン) Neopentane |
C(CH3)4 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 100ppm~ 1% |
ノルマルブタン n-Butane |
n-C4H10 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 1ppm~ 15% |
ノルマルヘキサン n-Hexane |
n-C6H14 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 1ppm~ 1% |
ノルマルヘプタン n-Heptane |
n-C7H16 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm~ 0.25% |
ノルマルペンタン n-Pentane |
n-C5H12 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 1ppm~ 4% |
パラキシレン p-Xylene |
p-C6H4(CH3)2 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 10ppm~ 300ppm |
1,2-ブタジエン 1,2-Butadiene |
1,2-C4H6 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm~ 2% |
1,3-ブタジエン 1,3-Butadiene |
1,3-C4H6 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm~ 15% |
1-ブテン 1-Butene |
1-C4H8 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 10ppm~ 20% |
フローセン(ハロタン) Fluothane |
CF3CHClBr | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 10ppm~ 300ppm |
プロパジエン(アレン) Propadiene |
CH2=C=CH2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm~ 10% |
プロパン Propane |
C3H8 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 1ppm~ 20% |
プロピレン Propylene |
C3H6 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 1ppm~ 30% |
プロピレンオキサイド(酸化プロピレン) Propylene oxide |
C3H6O | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm~ 0.1% |
フロン-14 Freon 14 |
CF4 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | 100ppm~ 15% |
フロン-23 Freon 23 |
CHF3 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 50ppm~ 10% |
フロン-116 Freon 116 |
C2F6 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | 100ppm~ 10% |
フロン-134a Freon 134a |
C2H2F4 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm~ 45% |
フロン-218 Freon 218 |
C3F8 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | 100ppm~ 10% |
フロン-c318 Freon c318 |
C4F8 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm~ 10% |
1-ヘキセン 1-Hexene |
1-C6H12 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 100ppm~ 1% |
ベンゼン Benzene |
C6H6 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 1ppm~ 0.2% |
1-ペンテン 1-Pentene |
1-C5H10 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 200ppm~ 2% |
メタキシレン m-Xylene |
m-C6H4(CH3)2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm~ 300ppm |
メタン Methane |
CH4 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 1ppm~ 50% |
メチルアセチレン(アリレン) Methylacetylene |
CH3C≡CH | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm~ 10% |
メチルアルコール Methyl alcohol |
CH3OH | ○ | ○ | ○ | × | × | × | 100ppm~ 0.5% |
メチルエチルケトン(2-ブタノン) Ethyl methyl ketone |
CH3(C2H5)CO | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm~ 0.5% |
3-メチル-1-ブテン 3-Methyl-1-butene |
(CH3)C4H7 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 0.2%~ 2% |
2-メチルペンタン 2-Methylpentane |
(CH3)C5H11 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 200ppm~ 1% |
3-メチル-1-ペンテン 3-Methyl-1-pentene |
3-CH3-1-C5H9 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 100ppm~ 1% |
4-メチル-1-ペンテン 4-Methyl-1-pentene |
4-CH3-1-C5H9 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 0.1%~ 2% |
メチルメルカプタン Methylmercaptan |
CH3SH | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm~ 10% |
モノメチルアミン Methylamine |
CH3NH2 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 100ppm~ 10% |
ヨウ化エチル Ethyl iodide |
C2H5l | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm~ 0.9% |
ヨウ化メチル Methyl iodide |
CH3l | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm~ 3% |
六フッ化プロピレン Hexafluoropropylene |
C3F6 | ○ | ○ | ○ | × | × | × | 100ppm~ 10% |